SJT 31107-1994 ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法
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ID： |
7BC5A9DD67194188B43C3B823B40C948 |
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文件大小(MB)： |
0.22 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,ZDS—1型电泳机完好要求和检查,评定方法,SJ/T 31107-94,1主要内容与适用范围,本标准规定了 ZDS—:!型电泳机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于半导体器件生产用类似ZDS-1型电泳机,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 玻璃搅拌器可带动ZL玻璃粉溶液进行搅拌,2.1. 2电极电压（直流电压）0.45OV,可调;电压波动不超过エ艺要求范围,2.2 真空系统,确保阴极板与硅片紧密接触,不掉片,无玻璃液泄漏现象,同时也不能因真空度过高造成,碎片,2.3 机体系统,2.3.1 可提供0一500V直流稳压,2.3.2 阴、阳电极间距可调,2. 3.3电泳槽搅拌器在停开5min后启动仍可带动拌子搅拌,2.3.4 搅拌器自动控制系统运行可靠,2.3.5 各仪表性能灵敏,指示准确,有有效期内校验合格证,2.4 电气系统,2.4.1 电气箱内清洁,布线整齐,线路无破损老化、各种线路标志明显,连接可靠,2.4.2 外部导线有完整的保护装置,线路外套管无脱落破损,2.4.3 各种开关动作灵敏,安全可靠,2.4-4 传感器反应灵敏可靠,2.4.5 搅拌器、自动控制稳定可靠,2.5 安全系统,2.5.1 自动灭火装置运行正常,光敏触头光洁无尘埃,2.5.2 搅拌器无溶液泄漏,无打火,2.5.3 阴、阳电极无毛剌,2.5.4 电压数值显示精确,2.5.5 有机溶液清除水流量稳定正常,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31107-94,ww. bzfxw. com下载,2.6 维护保养,2.61机体表面清洁光亮,无尘埃,2.6.2 阴、阳极要求无损伤,玻璃粉沾污,阴极板要求光亮、整洁,2.6.3 接触电压不超过エ艺要求范围,2.6.4 按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则融行,3检査、评定方法,3.1检査方法,31.1用两只数字电压表监测微调,由控制柜进行控制电极电压,3.2评定方法,3.2.1主要项目有2.1.1、2.1.2。其余均为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:邵建新、吴秀琴,2……
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